发明名称 Trägerkassette für Halbleiterscheiben.
摘要
申请公布号 DE69103748(D1) 申请公布日期 1994.10.06
申请号 DE1991603748 申请日期 1991.06.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;DAINICHI SHOJI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAITO, NAOKI, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;TAKAMATSU, NAOYUKA, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;ISHIKAWA, TOSHIO, KITA-ADACHI-GUN, SAITAMA-KEN, JP;KOSHIKAWA, KAZUNORI, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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