| 摘要 |
<P>L'invention est relative à un dispositif pour former un plasma à partir de micro-ondes, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour subir une excitation due à la présence d'un champ électrique alternatif à haute fréquence émis par une pluralité d'antennes métalliques. <BR/> Il comporte un volume exempt de gaz (4) dans lequel lesdites antennes métalliques (5) sont disposées parallèles les unes aux autres en étant réparties aux nœuds d'un réseau plan régulier, une extrémité de chaque antenne dépassant dudit volume exempt de gaz (4) dans la chambre d'ionisation (1), une boucle d'induction (10) émettant des micro-ondes dans le volume exempt de gaz (4). <BR/> L'invention est également relative à un procédé pour former un plasma à partir de micro-ondes.</P>
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