发明名称 蒸发器之改良结构
摘要 一种蒸发器之改良结构,系由一套筒、一加热器、坩锅、一本体、一喷嘴、一柱塞及固定块所构成,其中,于本体下方设有一固定孔,于固定孔之内部置入一加热器,使其具有组装、维修换取、及表面清理容易等多重功效。
申请公布号 TW301469 申请公布日期 1997.03.21
申请号 TW082212012 申请日期 1993.08.20
申请人 精威机电有限公司 发明人 童拱照
分类号 H01L23/42 主分类号 H01L23/42
代理机构 代理人 顾宪文 台北巿长安东路二段八一号六楼
主权项 1. 一种蒸发器之改良结构,系由一加热器、坩锅、本体一柱塞、一喷嘴、一套筒及一固定块所构成,其特征在于:该本体之下方系为一圆锥形,并将本体套设于套筒内,且利用焊接方式将上述两者焊接成一体,再将焊接处磨成一光滑面,一固定块上设有一凹槽,将套筒之下方处套设并焊接固定于凹槽内,再将固定块固定于离子植入机上,又,于本体之下方处设有一固定孔,于固定孔之内部置入一加热器,当加热器发生故障时,只要将加热器抽出换取即可,且其本体表面光滑、清理维修快速且容易。2. 如申请专利范围第1项所述之蒸发器之改良结构,其中,于本体下方且于固定孔之两侧边各设有一探测孔,可供使用者将感温棒插入探测孔内侦测温度,以便了解当时之加热温度者。3. 如申请专利范围第1项所述之蒸发器之改良结构,其中,固定块上可设计有两个或两个以上之凹槽,以便固定两支或两支以上之蒸发器者。图示简单说明:图一系为习用加热器之立体视图;图二系为本创作之立体视图;图三系为本创作之立体分解图;及图四系为图二中沿4-4线所作之剖面图;图五系为图二中沿5-5线所作之剖面图;及
地址 台北市齐东街二十四号