发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明披露了一种半导体器件及其制造方法。本发明的半导体器件包括:SOI晶片,它包括硅基片、形成于硅基片上部的绝缘膜、第一导电型硅层和形成于所述硅层与所述绝缘膜之间的传导层;形成于所述硅层的场氧化膜,它限定出第一和第二有源区;在所述第一有源区预定部分形成的栅电极;在所述栅电极两侧的第一有源区形成的第二导电型的源/漏区;在所述第二有源区形成的预定导电型的主体电极区。
申请公布号 CN1160293A 申请公布日期 1997.09.24
申请号 CN96123937.9 申请日期 1996.12.30
申请人 现代电子产业株式会社 发明人 金载甲
分类号 H01L29/78;H01L21/8239;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 杨梧
主权项 1、一种半导体器件,其特征在于包括:SOI晶片,它包括硅基片、在硅基片上部形成的绝缘膜、第一导电型硅层和在所述硅层与所述绝缘膜之间形成的传导层;场氧化膜,它形成于所述硅层,并限定出第一有源区与第二有源区;栅电极,它形成于所述第一有源区的所述硅层的预定部分;第二导电型源/漏区,它形成于所述栅电极两侧的第一有源区;和形成于所述第二有源区的所述硅层、与所述传导层接触的预定导电型的主体电极区。
地址 韩国京畿道