发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明披露了一种半导体器件及其制造方法。本发明的半导体器件包括:SOI晶片,它包括硅基片、形成于硅基片上部的绝缘膜、第一导电型硅层和形成于所述硅层与所述绝缘膜之间的传导层;形成于所述硅层的场氧化膜,它限定出第一和第二有源区;在所述第一有源区预定部分形成的栅电极;在所述栅电极两侧的第一有源区形成的第二导电型的源/漏区;在所述第二有源区形成的预定导电型的主体电极区。 |
申请公布号 |
CN1160293A |
申请公布日期 |
1997.09.24 |
申请号 |
CN96123937.9 |
申请日期 |
1996.12.30 |
申请人 |
现代电子产业株式会社 |
发明人 |
金载甲 |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/8239;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
柳沈知识产权律师事务所 |
代理人 |
杨梧 |
主权项 |
1、一种半导体器件,其特征在于包括:SOI晶片,它包括硅基片、在硅基片上部形成的绝缘膜、第一导电型硅层和在所述硅层与所述绝缘膜之间形成的传导层;场氧化膜,它形成于所述硅层,并限定出第一有源区与第二有源区;栅电极,它形成于所述第一有源区的所述硅层的预定部分;第二导电型源/漏区,它形成于所述栅电极两侧的第一有源区;和形成于所述第二有源区的所述硅层、与所述传导层接触的预定导电型的主体电极区。 |
地址 |
韩国京畿道 |