发明名称
摘要
申请公布号 JP2691147(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19950136235 申请日期 1995.06.02
申请人 发明人
分类号 G01R33/09;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):H01L43/12 主分类号 G01R33/09
代理机构 代理人
主权项
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