| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10284489(A) |
申请公布日期 |
1998.10.23 |
| 申请号 |
JP19970093866 |
申请日期 |
1997.04.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK |
发明人 |
INAI TAKAAKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
