质谱仪离子源室抽真空系统

摘要

本实用新型公开了一种质谱仪离子源室抽真空系统，包括设置有舱门的离子源室；离子源室外壁上设有高真空计和低真空计、以及分子泵、高真空电磁阀、进气电磁阀；高真空电磁阀进气口与所述分子泵排气口连通，高真空电磁阀排气口通过三通管的第一管口和第二管口与机械泵或隔膜泵进气口连通，三通管的第三管口通过管道和预抽真空电磁阀与离子源室内位于舱门位置处抽气口连通，分子泵进气口与离子源室内腔连通，进气电磁阀的进气口与大气相连通,进气电磁阀的出气口与离子源室内位于舱门位置处的进气口相连通。本实用新型优点在于实现离子源室内腔由低真空度向高真空度过渡的抽真空过程。

主权项

一种质谱仪离子源室抽真空系统，包括设置有舱门的离子源室；其特征在于：所述离子源室的外壁上设置有用于检测离子源室内腔真空度的高真空计、和用于检测离子源室内位于所述舱门位置处真空度的低真空计、以及分子泵、高真空电磁阀、进气电磁阀；所述高真空电磁阀进气口与所述分子泵排气口连通，高真空电磁阀排气口通过三通管的第一管口和第二管口与机械泵或隔膜泵进气口连通，所述三通管的第三管口通过管道和预抽真空电磁阀与离子源室内位于所述舱门位置处抽气口连通，所述分子泵进气口与离子源室内腔连通，所述进气电磁阀的进气口与大气相连通,进气电磁阀的出气口与离子源室内位于舱门位置处的进气口相连通。