| 摘要 |
使用一种系统及方法来校正石印工具之曝光段的焦点部份。晶圆被曝光，使得所得到或形成的图案影像相对于晶圆被倾斜。此倾斜可以根据控制一晶圆台以倾斜晶圆或控制一字标线台以倾斜字标线而被施加。晶圆被显影。以一部份的石印工具来测量倾斜图案影像之特性曲线，以决定曝光系统之焦点参数。测量步骤可以测量倾斜图案影像之带宽度及／或带位置。某些时候，在晶圆上形成一个以上的图案影像，然后测量步骤可以测量带之间的距离，及带相对于晶圆的中心轴之移位。焦点参数可以是焦点倾斜误差及／或焦点偏移。使用焦点参数以执行校正。藉着自动或手动地输入测量的焦点参数之补偿值至石印工具而完成校正。 |
