| 摘要 |
프로브와 배선의 사이에 위치 어긋남이 있어도 안정된 콘택트를 얻을 수 있음과 동시에 배선피치가 적게 되어도 프로브가 이웃의 배선에 접촉하는 일이 없는 검사방법을 제공한다. 복수의 배선(24)은 서로 평행하게 X방향으로 늘어져 있고, Y방향으로 간격을 두고 소정의 피치로 늘어서 있다. 배선(24)은 프로브(22)가 접촉하기 위한 접촉영역(26)과 그 접촉영역(26)보다 높이가 낮은 요부(28)를 구비하고 있다. Y방향에 있어서 접촉영역(26)의 인접부분에는 요부(28)가 오도록, 요부(28)는 지그재그배열로 되어 있다. 프로브(22)의 선단에는 접촉체(30)가 있고, 이 접촉체(30)의 Y방향의 치수는 배선피치보다 크게 되어있다. 프로브(22)와 배선(24)의 사이에 위치 어긋남이 있어도, 접촉체(30)는 배선(24)의 접촉영역(26)에서 벗어나는 일이 없고, 또한 접촉체(30)는 인접한 배선(24)에 접촉하는 일도 없다. |
