超纯水微量有机物质之去除方法

摘要

本发明发现超纯水中微量有机物质的去除必须藉助臭氧接触及紫外光照射的多个循环串联处理才能将水中的总可氧化碳(TOC)含量降低至1ppb以下的程度，较佳的，于第一个循环在紫外线照射之后进一步对紫外线照射后的水施予离子交换处理。