具有含氧白金之白金电极的铁电电容及其制造方法

摘要

本发明是在提供具有含氧白金之白金电极的铁电电容及其制造方法。该铁电电容是利用乾式蚀刻技术定义制成，具有一以白金–含氧白金为材料的下电极层，一以铁电材料为介电质的介电层，与一以白金–含氧白金为材料的上电极层。含氧白金于制程中会释放出活性氧还原成白金填补上、下电极层与介电层间的氧空缺，并可作为抵抗氢离子扩散至介电层的阻绝，避免氢离子扩散而导致介电层失效，同时可在蚀刻过程中提高其对光阻或罩幕层的蚀刻选择比，得到一无化学气体残留、与侧壁斜角的电容。