电子束记录基板

摘要

本发明提供一电子束记录基板，其减少对于阻剂膜之往回散射电子以改良所描画潜影的解析度。用于支撑一在其中进行电子束资讯记录的阻剂膜之电子束记录基板系包含一表面层区域，该表面层区域系由一种其中电子的平均自由径大于一预定值之材料制成，电子系藉由来自阻剂膜侧之一电子束的辐照在内部移行。