毫微管薄膜及物件之方法

摘要

本发明揭露毫微管薄膜与物件及其制造方法。导电物件包含毫微管段之集合，其中毫微管段会接触其他毫微管段以沿着物件定义出复数条导电小径。毫微管段可以是单壁毫微碳管，或多壁毫微碳管。各种段可具有不同长度，且可包含具有比物件之长度来得短的段。如此形成之物件可被配置在基板上，且可在物件本身内形成毫微管之电性网路。导电物件可能藉由在基板上形成毫微管织物并界定在织物内之图案而被制造在基板上，其中图案系对应至导电物件。举例而言，毫微管织物可能藉由使用催化剂使毫微管织物成长在基板上而形成，其中催化剂系为一种气相催化剂，或催化剂系为一种金属气相催化剂。毫微管织物可能藉由使悬浮毫微管之溶液沈积在基板上而形成。沈积溶液可被旋转以建立溶液之旋转涂布。溶液可藉由将基板浸入溶液中而沈积。毫微管织物系藉由将具有毫微管之悬浮微粒喷洒至基板之表面之上而形成。

主权项

一种在基板上制造导电物件之制造方法，包含：提供至少第一及第二导电接点；在基板上形成一毫微管织物，该毫微管织物包含一非编织、非对齐(unaligned)毫微管的缠结层(matted layer)，其中该等毫微管相互间无对齐且该等毫微管接触该等第一及第二导电接点；界定在该织物内之图案，其中该图案系对应至该导电物件；移除该织物之一部份，俾能使该图案化织物残留在该基板上以形成复数个导电物件。