发明名称 SEMICONDUCTOR WAFERS FOR THE PRODUCTION OF HIGHLYINTEGRATED MODULES
摘要
申请公布号 GB1586230(A) 申请公布日期 1981.03.18
申请号 GB19770039677 申请日期 1977.09.23
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/331;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/118;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/10;H01L27/06 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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