| 发明名称 |
TREATMENT OF CRYSTAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS56120521(A) |
申请公布日期 |
1981.09.21 |
| 申请号 |
JP19800020724 |
申请日期 |
1980.02.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMANAKA HARUYOSHI;KAZUMURA MASARU;OOTA KAZUNARI |
| 分类号 |
C09K13/08;C01G28/00;C23F1/30;C30B33/00;C30B33/10;H01L21/306 |
主分类号 |
C09K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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