发明名称 MANUFACTURE OF AMORPHOUS THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS5827941(A) 申请公布日期 1983.02.18
申请号 JP19810125800 申请日期 1981.08.11
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TAKAYAMA SHINJI;SHIIKI KAZUO;TSUKUDA YASUO;KUDOU SANEHIRO
分类号 C22C1/00;C22C19/00;C22C19/07;C22C33/00;C22C38/52;C22C45/04;C22F1/00;C23C14/14;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18 主分类号 C22C1/00
代理机构 代理人
主权项
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