发明名称 |
MANUFACTURE OF AMORPHOUS THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5827941(A) |
申请公布日期 |
1983.02.18 |
申请号 |
JP19810125800 |
申请日期 |
1981.08.11 |
申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
TAKAYAMA SHINJI;SHIIKI KAZUO;TSUKUDA YASUO;KUDOU SANEHIRO |
分类号 |
C22C1/00;C22C19/00;C22C19/07;C22C33/00;C22C38/52;C22C45/04;C22F1/00;C23C14/14;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18 |
主分类号 |
C22C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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