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发明名称
FORMATION OF NIOBIUM PATTERN
摘要
申请公布号
JPS5978586(A)
申请公布日期
1984.05.07
申请号
JP19820187430
申请日期
1982.10.27
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
YAMADA KOUJI;TARUYA YOSHINOBU;NISHINO JIYUICHI
分类号
C23F1/00;C23F1/02;H01L39/24
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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