| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA FABBRICAZIONE DI SOTTILI PELLICOLE,IN PARTICOLARE DI SOTTILI PELLICOLE METALLICHE NELLA FABBRICAZIONE DI CIRCUITI INTEGRATI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1063426(B) |
申请公布日期 |
1985.02.11 |
| 申请号 |
IT19760021450 |
申请日期 |
1976.03.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;C23C14/04;C23F4/00;G03F7/09;G03F7/095;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/3205;H05K3/02;H05K3/04;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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