| 发明名称 |
Correlating a pair of patterns |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2144535(A) |
申请公布日期 |
1985.03.06 |
| 申请号 |
GB19840018276 |
申请日期 |
1984.07.18 |
| 申请人 |
* MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V |
发明人 |
WALTER * HOPPE |
| 分类号 |
G02F3/00;G02B27/42;G02F1/13;H01J37/21;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
G02F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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