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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211728(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900004768 申请日期 1990.01.13
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI;GOCHO TETSUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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