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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05102330(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910153182 申请日期 1991.06.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAHASHI TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/73;H01L29/737 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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