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发明名称 FORMING METHOD FOR INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH05102129(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910260856 申请日期 1991.10.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUDA HISASHI
分类号 H01L21/316;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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