| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05152311(A) |
申请公布日期 |
1993.06.18 |
| 申请号 |
JP19910317844 |
申请日期 |
1991.12.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHITSUPOU OSAMU |
| 分类号 |
C23C14/54;F27B17/00;G05B13/02;G05D23/19;H01L21/324 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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