发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1542337(C) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 SU19874340868 申请日期 1987.12.10
申请人 ALEKSENKO A.G.;GLUSHCHENKO V.N.;ZENIN V.V.;KOLYCHEV A.I. 发明人 ALEKSENKO A.G.;GLUSHCHENKO V.N.;ZENIN V.V.;KOLYCHEV A.I.
分类号 H01L21/441 主分类号 H01L21/441
代理机构 代理人
主权项
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