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发明名称 Einrichtung für die Unterdrückung von Überschlägen in Kathoden-Zerstäubungseinrichtungen
摘要
申请公布号 DE4441206(C2) 申请公布日期 1996.09.26
申请号 DE19944441206 申请日期 1994.11.19
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 MAAS, WOLFRAM, DR., 63589 LINSENGERICHT, DE
分类号 H05H1/46;C23C14/34;C23C14/40;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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