| 发明名称 |
INSPECTION METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10107102(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960261943 |
申请日期 |
1996.10.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA SEIJI;YOSHITAKE YASUHIRO;NAGAI HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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