| 摘要 |
공정을 마친 다수개의 웨이퍼를 수용하여 소정 위치로 이송하거나 보관하는데 사용하는 반도체 웨이퍼 보관용 박스에 관한 것이다. 본 고안은 상측 뚜껑과 하측 용기가 상호 개폐 가능하도록 결합되고 내부에 웨이퍼를 수용하도록 형성된 웨이퍼 보관용 박스에 있어서, 상기 뚜껑과 상기 용기 내·외측 표면에 발생되는 정전기를 외부로 유도 방출되도록 금속재질로 제작된 적어도 하나 이상의 정전기 유도수단이 부가 설치됨을 특징으로 한다. 따라서, 본 고안에 의하면 웨이퍼 보관용 박스의 내ㆍ외측 표면에 발생되는 정전기를 정전기 유도수단을 통해 유도 방출하게 됨에 따라 정전기에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하게 되고, 웨이퍼 보관용 박스의 내ㆍ외측 표면에 전기적 극성을 갖는 파티클이 부착되지 않음에 따라 파티클에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하게 되는 효과가 있다. |
