扩散障壁

摘要

一种障壁限制金属(诸如，铜)扩散于绝缘层内。此障壁可采用由碳化矽型之材料制成之绝缘层形式，其系于沈积后被曝置于离子化之氢。较佳地，此金属含有氮，且特别佳系此材料具有3.5或更少之介电常数。