制造巨大、单结晶之氮化铝的方法及装置

摘要

一种用来制造巨大的单结晶AlN之方法及装置，其包含一含有Al及N2来源材料在其中且能形成巨大的结晶之结晶生长室。该装置可将结晶生长室内的N2分压维持在大于相对于Al之化学计量的压力，同时将结晶生长室中的总蒸气压维持在超大气压力。在结晶生长室中提供至少一个成核位置，且提供冷却该成核位置(相对于结晶生长室中的其它场所)。然后沉积Al及N2蒸气以在该成核位置处生长单结晶AlN。