将金属离子供应源有效贮存在镀覆设备中的方法

摘要

【问题】为避免镀覆性能的变化，即使镀覆设备的操作中断，镀覆溶液的性质也需要保存。【解决间题的手段】对于具有不溶性阳极的镀覆设备，加添一储器(7)用以贮存要给到具有金属离子供应源(铜球(5))的槽(4)内之置换溶液，及在镀覆操作终止时，从装有金属离子供应源的槽(4)排放出整体镀覆溶液，同时从该储器(7)将置换溶液转移到具有金属离子供应源的空槽内，且紧接在镀覆操作重新开始之前，将置换溶液转移回到储器(7)及将镀覆溶液送回到装有金属离子供应源的槽(4)。