用于极紫外线(EUV)波前感测器之棋盘结构中的透射剪切光栅

摘要

一波前测量系统包含一电磁辐射源，一成像系统将电磁辐射导引于其均匀照明之物体平面处，一第一光栅系位于物体平面上，以做成进入投射光学之输入的辐射条件，一投射光学系统将第一光栅之影像投射于焦点平面上，一第二光栅系位于焦点平面处，以接收物体平面之绕射影像而形成一剪切干涉仪，一CCD侦测器经由投射光学系统及第二光栅而接收到投射光学系统之瞳孔的影像，如果在投射光学系统有像差，则产生条纹图案。藉由使第一光栅步进于横向方向上，且以CCD侦测器读取各框，能够完成条纹图案之相位偏移读出。