| 摘要 |
一种超高密度微阵列生物晶片制备系统，包含一控制器、光学成像装置及一原位合成装置。光学成像装置包含一双轴步进反射阵列及一导光装置。双轴步进反射阵列系由复数个步进式紫外光反射镜(Ultravioletmirrors)所组成，紫外光反射镜面涂布有一半波长保护涂层(Half–wavelength Protective Coatings)及铝系薄膜(Aluminumthin film)，且各个紫外光反射镜之镜面结构具有二轴向之旋转自由度，原位合成装置包含一活化腔室、一显像基板及一由控制器控制之胺基酸供应器。各个单一的步进式紫外光反射镜以具二旋转自由度之镜面结构摆动，而能于显像基板上投影出复数个会聚光点，且双轴步进反射阵列于显像基板上形成之总特征点数，为各个单一步进式紫外光反射镜投影之复数个会聚光点数的总合。 |
