发明名称 电场沉积制备薄膜的方法
摘要 一种电场沉积制备薄膜的方法,其主要工艺过程包括:(1)制备待沉积材料或其前驱体的颗粒在液体中的分散体系,(2)将待沉积薄膜的基材置入分散体系中,(3)由电源、导线、电极等组成沉积电路,通过沉积电路对分散体系施加沉积电场,(4)利用颗粒在电场中的有序受力和运动将其沉积在基材上形成薄膜。其特点是:沉积过程中,待沉积薄膜的基材和(或)其上的薄膜不与形成沉积电场的电路形成闭合电流回路。其主要优点是:可有效防止有害电极反应对沉积过程和沉积膜的危害。
申请公布号 CN1557998A 申请公布日期 2004.12.29
申请号 CN200410021685.4 申请日期 2004.01.14
申请人 重庆大学 发明人 谢卫东;彭晓东;李玉兰;刘方
分类号 C25D15/00;C25D13/00 主分类号 C25D15/00
代理机构 重庆大学专利中心 代理人 郭吉安
主权项 1.一种电场沉积制备薄膜的方法,其工艺过程包括:(1)制备待沉积材料或其前驱体的颗粒在液体中的分散体系,(2)将待沉积薄膜的基材置入分散体系中,(3)由电源[1]、导线[2]、电极[4]等组成沉积电路,通过沉积电路对分散体系施加沉积电场,(4)利用颗粒在电场中的有序受力和运动将其沉积在基材上形成薄膜;其特征是在沉积过程中,待沉积薄膜的基材[5]和/或其上的薄膜[6]不与沉积电路形成闭合电流回路。
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