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发明名称 METHODS FOR PROTECTING DEVICE COMPONENTS FROM CHEMICAL MECHANICAL POLISH INDUCED DEFECTS
摘要
申请公布号 KR100493483(B1) 申请公布日期 2005.08.05
申请号 KR19980023339 申请日期 1998.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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