光照射装置、光照射方法、结晶化装置、结晶化方法、装置及光调变元件

摘要

一种光照射装置包含一光调变元件(1)，其调变一入射光束的相位以获得一具有底部最小光强之V型光强分布，以及一成像光学系统(3)，将来自该光调变元件的调变光束施加至一照射目标表面(4)，藉此将该V型光强分布提供于该照射目标表面之上。该光调变元件具有这样的一复合振幅透射率分布，该复合振幅透射率分布的相位数值二次微分，在该成像光学系统的影像空间中，于V型光强分布的底部大致上变为零。