发明名称 고압에 의한 비국부적 열평형 아아크플라스마를 이용한 기질의 용착방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840005357(A) 申请公布日期 1984.11.12
申请号 KR19830003172 申请日期 1983.07.12
申请人 null, null 发明人 블라디머 부카노비크 (외 3)
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L31/04 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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