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发明名称
고압에 의한 비국부적 열평형 아아크플라스마를 이용한 기질의 용착방법
摘要
<p>내용 없음</p>
申请公布号
KR840005357(A)
申请公布日期
1984.11.12
申请号
KR19830003172
申请日期
1983.07.12
申请人
null, null
发明人
블라디머 부카노비크 (외 3)
分类号
C23C14/24;C23C14/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L31/04
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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