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发明名称 LIQUID-PHASE EPITAXIAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS623094(A) 申请公布日期 1987.01.09
申请号 JP19850140851 申请日期 1985.06.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRAYAMA NORIYUKI;OSHIMA MASAAKI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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