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发明名称 STRAOLNINGSHAERDBAR BLANDNING OCH DAERAV FRAMSTAELLD STRAOLNINGSKAENSLIGT REGISTRERINGSMATERIAL FOER HOEGENERGISK STRAOLNING.
摘要
申请公布号 FI893071(A0) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 FI19890003071 申请日期 1989.06.22
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DAMMEL, RALPH;DOESSEL, KARL-FRIEDRICH;LINGNAU,JUERGEN;THEIS, JUERGEN
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F/ 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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