| 主权项 |
1﹒一种用来从不纯的惰性气体中移去不纯质气体的装置,其特征为包括一不纯的纯气入口(108)与之以流体交通,包含第一气体吸着物质(116)的罩框(102),与纯化的气体出口(114)以流体交通的所谓的罩框,其特征为:A﹒第一气体吸着物质(114)可为:a)一非挥发性的Zr─V─Fe吸气剂合金b)Zr─Fe,以及B﹒第二气体吸着物质(116)为一具5一30%Al,其余为Zr之组成的非挥发性吸气剂合金。2﹒如申请专利范围第1项所请之装置,其中所谓的惰性不纯气体为氩气,其特征为:A﹒第一气体吸着物质(114)为Zr─V─Fe之非挥发性吸气剂合金,此合金之重量组成,以三元组成图解表示,则三元素的重量百分比可为:a)75%2r─20%V─5%Feb)45%Zr─20%V─35%FeC)45%Zr─50%V─5%Fe以及B﹒第二气体吸着物质为具16%Al,其余为Zr之组成的非挥发性吸气剂合金。3﹒如申请专利范围第1项所请之装置,其中所谓的惰性不纯气体为氮气,其特征为:A第一气体吸着物质(114)为包括5─30%之Fe,其余为Zr的非挥发性吸气合金,以及B﹒第三气体吸着物质(116)为具16%Al,其余为Zr非挥发性吸气剂合金。4﹒如申请专利范围第1项所请之装置,其特征为:A﹒第一气体吸着物质(114)为由平均颗粒大小小于125um的粉末压缩成的多数片状物形式,所谓的片状物质于空间(102)中接近所谓的惰性气体入口(108)的罩框(118)内,以及B﹒第二气体吸着物质(116)为由平均颗粒大小小于125um的粉末压缩成的片状物形式,而所谓的片状物置于空间(102)中接近所谓纯化的惰性气体出口(110)的罩框(120)内。5﹒一种从不纯的惰性气体中移去不纯质气体并确保纯化的出口气体中极低氢气水平的方法,其特征为包括以下步骤:A﹒将不纯的惰性气体经由入口通入一罩框中,B﹒不纯的惰性气体与第一气体吸着物接触,此气体吸着物质可为a)一非挥发性吸着剂的Zr─V─Fe合金b)Zr─Fe以制得纯化的惰性气体,C﹒将此纯化的惰性气体通过第二气体吸着物质以制得具极低氢气水平的纯化惰性气体,所谓的第二气体吸着物为具有5─30%Al其余为Zr之组成的非挥发性吸气剂合金,以及D﹒将具有极低之氢气水平的纯化惰性气体经由纯化的气体出口流出。6﹒如申请专利范围第5项所谓之方法,其中待纯化的气体为氩气,且第一气体吸着物质为非挥发性的Zr─V─Fe之吸气剂,其重量组成,以三元组成图解表示,则三元素的重量百分比可为:a)75%Zr─20%V─﹒5%Feb)45%Zr─20%V─35%Fec)35%Zr─50%V─5%Fe7﹒如申请专利范围第5项所请之方法,其中待纯化气体为氮气,而第一气体吸着物质则为一包含15─30%Fe,其余为Zr的非挥发性吸气剂合金。8﹒如申请专利范围第5项所请之方法,其中第二气体吸着物质为具有16%Al,其余为Zr之组成的非挥发性吸气剂合金。9﹒如申请专利范围第6项所请之方法,其中所谓的第一气体吸着物质为由平均颗大小小于125um的粉末所压缩成的多数片状物形式,所谓的片状物置于罩框中接近所谓惰性气体入口的区域内,并维持在350C到450C的温度范围内;以及所谓的第二气体吸着物质为由平均颗粒大小于125um的粉末所压缩成的片状物形式,而所谓的片状物置于罩框中接近所谓的纯化惰性气体出口的区域内,并维持在与第一气体吸着物质相同的温度下。图示简单说明图1为本发明之部份仪器的剖面图,图2为说明图1之仪器中,惰性气体在经过一段时间的纯化后,仪器内的co不纯气体的浓度分布。图3为与图2相似的曲线,但为表示氢气不纯物的浓度。图4为表示图1之仪器中的氢气分压。图5为表示先前技艺之纯化器与本发明之纯化器所纯化之惰性气体中的H2分压。 |
