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发明名称 MIKROWELLENVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERTEILEN UND HALBLEITERTEILE NACH DIESEM VERFAHREN.
摘要
申请公布号 AT54341(T) 申请公布日期 1990.07.15
申请号 AT19860104253T 申请日期 1986.03.27
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 JOHNCOCK, ANNETTE G.;HUDGENS, STEPHEN J.
分类号 C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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