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发明名称 AUTOMATIC ARRANGEMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH05298394(A) 申请公布日期 1993.11.12
申请号 JP19920104277 申请日期 1992.04.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARAKAWA KOICHI;OGAWA YASUSHI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H05K3/00;(IPC1-7):G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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