发明名称 |
悬臂压电换能器 |
摘要 |
本公开涉及悬臂压电换能器。压电换能器包括:锚定件(16a);半导体材料的梁(25),从锚定件(16a)开始在平行于第一轴(Y)的主方向上以悬臂方式延伸,并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c),第一平面由第一轴(Y)和垂直于第一轴(Y)的第二轴(X)限定;以及压电层(26),在梁(25)的面(25c)上。梁(25、125、225、325)的垂直于第一轴(Y)的截面是非对称的,并且被成形为使得梁(25)响应于施加到锚定件(16)并且根据第一轴(X)定向的力,而呈现离开第一平面(XY)的变形。 |
申请公布号 |
CN106257699A |
申请公布日期 |
2016.12.28 |
申请号 |
CN201510860679.6 |
申请日期 |
2015.11.30 |
申请人 |
意法半导体股份有限公司 |
发明人 |
F·普罗科皮奥;A·弗兰吉 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01)I;H01L41/25(2013.01)I |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
王茂华 |
主权项 |
一种压电换能器,包括:锚定件(16a);半导体材料的梁(25、125、225、325、425),从所述锚定件(16a)开始在平行于第一轴(Y)的主方向上悬臂式延伸,并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c、125c、225c、325c),所述第一平面由所述第一轴(Y)和垂直于所述第一轴(Y)的第二轴(X)限定;以及压电层(26),在所述梁(25、125、225、325、425)的所述面(25c、125c、225c、325c)上;所述梁(25、125、225、325、425)的垂直于所述第一轴(Y)的截面是非对称的,并且被成形为使得所述梁(25、125、225、325、425)响应于施加到所述锚定件(16)并且根据所述第一轴(X)指向的力而呈现离开所述第一平面(XY)的变形。 |
地址 |
意大利阿格拉布里安扎 |