处理装置和处理方法

摘要

本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。

主权项

一种处理装置，具备：输送部，输送被处理物；回收部，回收已供给到由所述输送部输送的所述被处理物的处理面上的第一处理液；第一喷嘴，将由所述回收部回收的所述第一处理液向所述被处理物的处理面喷出；第二喷嘴，设置在所述第一喷嘴的被处理物输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出第二处理液；以及第三喷嘴，设置在所述第二喷嘴的被处理物输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出清洗液，所述第二喷嘴朝着与相对所述被处理物输送方向垂直的方向相比向所述被处理物输送方向的下游侧，将所述第二处理液喷出到所述被处理物的处理面上，所述第三喷嘴朝着与相对所述被处理物输送方向垂直的方向相比向所述被处理物输送方向的上游侧，将所述清洗液喷出到所述第二处理液喷出到的同一所述被处理物的处理面上，并且，所述第二喷嘴和所述第三喷嘴被配置成，在所述被处理物的处理面上形成所述第二处理液和所述清洗液相争的区域。