| 摘要 |
【課題】プローブカードとウエハとの平行度を保つことができ、ウエハレベル検査を高精度に行うことができるプローバを提供する。【解決手段】テストヘッド５４と、ウエハチャック５０と、ウエハチャック５０に対向する面に複数のプローブ６６を有するプローブカード５６と、プローブカード５６とテストヘッド５４の間に介在して配置され、プローブカード５６とテストヘッド５４とを電気的に接続するポゴフレーム５８と、ウエハチャック５０とプローブカード５６との間に密閉空間Ｓを形成するシール部材６４と、密閉空間Ｓを減圧することで、ウエハチャック５０をプローブカード５６に向かって引き寄せる減圧手段と、テストヘッド５４の外縁部の互いに異なる複数の位置をそれぞれ弾性支持する複数の緩衝部と、を備える。【選択図】図５ |
