晶圆预对准方法及装置

摘要

本发明公开了一种晶圆预对准方法及装置，该装置包括机座、吸盘组件、支撑组件、光源及CCD传感器，所述的机座内设有驱动装置及机构，能带动所述的吸盘组件作升降运动、旋转或平移，所述的支撑组件设于所述的机座上，位于所述的吸盘组件的周围；所述的光源及CCD传感器设于所述的机座上，所述的光源可向所述的CCD传感器投射平行光。通过本装置及预对准方法，一方面，消除了因晶圆转轴与CCD线阵的相对位置不确定所带来的原理误差；另一方面，实现了对晶圆偏心的静态检测，消除了测量系统延迟带来的误差；再者，减少了测量数据，提高了晶圆预对准效率。

主权项

一种晶圆预对准装置，其特征在于：其包括机座、吸盘组件、支撑组件、光源及CCD传感器，所述的机座内设有驱动装置及机构，能带动所述的吸盘组件作升降运动、旋转或平移，所述的支撑组件设于所述的机座上，位于所述的吸盘组件的周围；所述的光源及CCD传感器设于所述的机座上，所述的光源向所述的CCD传感器投射平行光；所述的CCD传感器采用线阵式CCD传感器；当将晶圆放置在所述吸盘组件上，并且所述吸盘组件带动所述晶圆沿与所述CCD传感器线阵平行的方向向上平移时，使晶圆外圆下边缘与所述CCD传感器线阵的上半部分相交于一点；当所述吸盘组件带动所述晶圆沿与所述CCD传感器线阵平行的方向向下平移时，使晶圆外圆的上边缘与所述CCD传感器线阵的下半部分相交于另一点。