固体摄像装置、电子设备和固体摄像装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种固体摄像装置、固体摄像装置的制造方法和电子设备。在固体摄像装置的制造方法中，在基板内形成包括载流子极性为第一导电型的第一杂质层的光电转换部；在所述第一杂质层的位于所述基板的一个表面侧的表面上形成载流子极性为与所述第一导电型相反的第二导电型的第二杂质层从而使得所述第二杂质层与所述第一杂质层的所述表面接触；在所述第二杂质层上形成载流子极性是所述第一导电型的第三杂质层从而使其与所述第二杂质层接触；并且在所述基板内形成载流子极性是所述第一导电型的杂质区域部从而使其与所述第三杂质层相连。所述电子设备包括所述固体摄像装置。本发明能够进一步抑制诸如晕染或混色等的发生。

主权项

一种固体摄像装置，所述固体摄像装置包括：基板；光电转换部，所述光电转换部设置在所述基板内，所述光电转换部包括载流子极性为第一导电型的第一杂质层并且将入射光光电转换为信号电荷；杂质区域部，所述杂质区域部设置在所述基板内，其中，所述杂质区域部的载流子极性为所述第一导电型；第二杂质层，所述第二杂质层形成在所述第一杂质层的位于所述基板的一个表面侧的表面上并且与所述第一杂质层的所述表面接触，其中，所述第二杂质层的载流子极性为与所述第一导电型相反的第二导电型；第三杂质层，所述第三杂质层形成在所述第二杂质层上并与所述第二杂质层接触，并且所述第三杂质层与所述杂质区域部相连，其中，所述第三杂质层的载流子极性是所述第一导电型；以及栅极电极，所述栅极电极形成在所述第三杂质层上方从而覆盖着所述第三杂质层。