| 摘要 |
차압 센서는, 격판을 형성하는 얇은 부분이 있는 반도체 다이를 포함하는 감압 다이를 포함한다. 격판은, 격판에 가해지는 힘에 기초하여 가변 저항을 나타내는 압전 저항 소자들을 포함한다. 제1 지지 구조는, 격판의 제1 면이 애퍼처를 통해 노출되도록 제1 지지 구조를 통해 정의되는 애퍼처를 갖는 반도체 다이의 제1 면에 결합된다. 제2 지지 구조는, 상기 격판의 반대측 면과 정렬되는, 애퍼처를 갖는 반도체 다이의 반대측 면에 결합된다. 압전 저항 소자들과 전기적으로 연통하는 전기 부품들은, 제1 지지 구조, 제2 지지 구조, 및 반도체 다이 간의 결합에 의해 정의되는 영역의 외측에 배열된다. 오일 채움 볼륨은, 반도체 다이에 유체 압력을 전달하는 격렬한 매체와 반도체 다이가 서로 접촉하지 않으면서 그 격렬한 매체와 반도체 다이 간에 정의될 수 있다. |
