| 发明名称 | 加热器供电机构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种加热器供电机构，用多个加热器将载置基板的载置台分为多个区域，能够对每个区域进行温度控制，该加热器供电机构包括：与上述多个加热器连接的多个加热器用端子；与上述多个加热器用端子连接的多个加热器配线；和使上述多个加热器配线偏移的偏移构造，上述多个加热器用端子配置在保持上述载置台的保持板上的外周部。 | ||
| 申请公布号 | CN106233435A | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201580020523.5 | 申请日期 | 2015.05.08 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 喜多川大;小泉克之 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H05B3/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种加热器供电机构，用多个加热器将载置基板的载置台分为多个区域，能够对每个区域进行温度控制，所述加热器供电机构的特征在于，包括：与所述多个加热器连接的多个加热器用端子；与所述多个加热器用端子连接的多个加热器配线；和使所述多个加热器配线偏移的偏移构造，所述多个加热器用端子配置在保持所述载置台的保持板上的外周部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||