| 摘要 |
상이한 설계 오정렬들을 갖는 적어도 3개의 타겟 셀의 오버레이 측정치로부터, 설계 오정렬(각각의 설계 오정렬이 각각의 타겟 셀 내의 적어도 2개의 중첩되는 주기적 구조물들 사이에 있음)에 대한 측정된 부정확성의 의존성을 유도하는 것에 의해서, 셀간 프로세스 변동을 추정하기 위한 계측 방법 및 타겟이 제공된다. 설계 오정렬과 관련된 부정확성이 감소하고, 프로세스 변동 소스(process variation source)가 검출되고, 유도된 의존성에 따라서 타겟 및 측정 알고리즘이 최적화된다. |
