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发明名称
半导体封装处理设备及其控制方法
摘要
一种半导体封装处理设备及其控制方法。该半导体封装处理设备包含第一封装接收部用以接收其中的复数个半导体封装,第二封装接收部用以接收其中从第一封装接收部传输之半导体封装,复数个拾取单元用以吸取在第一封装接收部中接收的半导体封装并传输该半导体封装至第二封装接收部,以及一传送装置用以在半导体封装之传输方向上单独地传输上述各拾取单元。
申请公布号
TW200814227
申请公布日期
2008.03.16
申请号
TW096133042
申请日期
2007.09.05
申请人
韩美半导体有限公司
发明人
郑显权
分类号
H01L21/677(2006.01)
主分类号
H01L21/677(2006.01)
代理机构
代理人
许世正
主权项
地址
韩国
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